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低温真空镀膜扩散泵

wwwxy2001    2016-09-26    扩散泵    浏览 465 次

低温真空镀膜扩散泵

精彩问答
fsehdas 发布日期:2016-09-27
扩散泵不是需要预热、而是需要加热,这是扩散泵的工作原理,跟处于什么工艺下进行没有关系。 扩散泵属于增压泵,单独是不可以使用的,必须串联机械泵,如旋片泵、滑阀泵等。 扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。 扩散泵没有电机。
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