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扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢

cdzxkj    2010-07-31    扩散泵    浏览 778 次

真空室是1.5立方米,配600扩散泵,原来抽到0.05pa只要3分钟,现在需要20分钟,不是突然变成这样的,是非常缓慢的一个过程。真空度在2pa以下时再上升就非常慢了!
求教了

精彩问答
long20090501 发布日期:2018-04-22
首先检查真空室的密封
2,关闭所有阀门,测试泵本身抽真空能力
3 更换真空泵油
4 更换密封垫
全部评论
茵囡 发布日期:2010-08-01
真空泵问题,或者漏气
chenzhiwang111 发布日期:2010-08-02
我是从事真空泵油的,设备方面不是很清楚。但是如果油的品质不够好的话,是会出现这样的情况的,随着气温的变化是有可能出现这样的情况的。不知道你配套的是什么型号的扩散泵油了。
fukren3897 发布日期:2010-08-02
扩散泵泵油不够,冷却水,水温过高,都会使扩散泵效率达不到..
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