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求高人指点:真空系统工作原理

1冷丶    2014-09-20    扩散泵    浏览 601 次

那位高人帮我分析一下图片中真空系统的工作原理,谢谢

精彩问答
朗晟桥梁支座 发布日期:2014-09-21
根据系统配有高真空计和各阀的名称判断,2真空泵是扩散泵,系统属于高真空机组,因此,图中4高真空阀和1真空室应该是连起来的。工作时先开预抽泵3同时打开低真空阀5和前级阀6,抽到低真空计8测量值到40Pa以下时,开启2扩散泵的加热,预热大概需要50分钟。这期间3预抽泵一直保持抽真空,低真空计8测量值将会持续下降至10Pa以下。待2扩散泵预热时间到,关闭5低真空阀,再打开4高真空阀,利用2扩散泵和3预抽泵对1真空室抽高真空。正常额话,该系统的真空度可达到10-3至10-4Pa级。
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