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真空系统设计时,为什么需要预抽泵?直接用前级泵有什么问题吗?

__TAKA__    2014-03-16    扩散泵    浏览 499 次

精彩问答
rupe8416 发布日期:2014-03-18
1.如果是扩散泵系统,系统和扩散泵腔不预抽的话,扩散泵一工作大量的气体与扩散泵油结合就会把扩散泵油氧化2.分子泵系统,不预抽的话,直接启动分子泵,由于形成的压力太高会把分子泵叶片损坏(由于分子泵的叶片高速运转并且材质为铝合金)
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chenzhiwang111 发布日期:2014-03-17
通风扇给胡总iu额一个人飞洒去哦如何通过也颇为日与夜
时雨記 发布日期:2014-03-17
真空泵系统的设计选型,一般单级泵如果能达到的抽速、真空度,就优先选单极的。但要更高的真空度和抽速,就需要增压泵。前级泵预抽,达到设定的真空度时启动二级、三级,甚至4级。我们是这样设计的。
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