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请问在镜面级石英表面镀金属铬,哪种镀膜工艺对石英表面的损伤Z小?

wbcn2007    2011-07-18    离子膜    浏览 373 次

请问在镜面级的石英表面镀一层金属铬,用蒸发镀膜,溅射镀膜或离子镀,镀完膜之后大部分铬膜要用腐蚀液体腐蚀掉。请问哪种镀膜工艺对石英表面的损伤和破坏Z小?
多谢了!

精彩问答
blopahn 发布日期:2011-07-26
应该选择蒸发镀膜,根据镀膜原理:
蒸发镀膜:加热使膜材蒸发,吸附在基体表面成膜;
溅射镀膜:被加速的正电离子撞击靶材,将成膜原子轰击出来然后沉积在基体上;
离子镀:利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,并在被电离离子的轰击下,将成膜材料沉积在基片上的方法,溅射镀膜属于离子镀膜的一种。
综上,溅射镀膜及离子镀膜都是需要被加速的离子轰击靶材,将成膜物轰击出来后再“吸附”至基体上,被吸附的成膜粒子当然也是具备较大动量的,导致成膜初期有部分动量过大的粒子直接轰击进入基体内部,从而破坏石英表面;而蒸发度中,成膜粒子的动量就相对小得多,而不会对石英表面造成太大损伤和破坏。

PS:这种专业提问,楼主竟然不舍得给分。哈哈,人才啊!
全部评论
lovingly120369 发布日期:2011-07-20
没有评价标准,损伤和破坏指的是什么?
qxj____ 发布日期:2011-07-19
个人觉得蒸发在这三种镀膜方式中,蒸发镀能达到你说的要求。因为这种方式的成膜,区别于离子的轰击和磁控表面清洗所代来的基材破坏。所以我个人选择蒸发镀。
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