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真空镀膜行业中.氩气的流量大小具体如何控制?

a1521282000    2012-09-13    质量流量计    浏览 502 次

真空镀膜行业中.氩气的流量大小具体如何控制.氩气质量流量计如何选择量程?另外.该流量计的进口压力如何选择?换作是氮气呢?一.采用溅射镀膜,二.全部是塑料制品的镀膜.... 真空镀膜行业中.氩气的流量大小具体如何控制.氩气质量流量计如何选择量程?另外.该流量计的进口压力如何选择?换作是氮气呢?
一.采用溅射镀膜,
二.全部是塑料制品的镀膜.

精彩问答
yehudie2009 发布日期:2017-08-23
个人认为如下:

1.热式气体质量流量控制器(MFC),里面有个温度传感器和速度传感器,流量大小通过高性能比例电磁阀,通过0-5V电压调节阀芯开度大小或频率来精确控制介质的流量大小
2.热气气体质量流量控制器,AE流量计,可控量程2SCCM-200SLM,流量大小,客户只要是在这个范围的流量需求,都能为您选型,通过真空镀膜行业的一些客户了解到 ,他们一般使用的都是微小流量的MFC,集中在100SCCM/MIN 500SCCM/MIN 1000SCCM/MIN
3.进口压力:Z大1Mpa 正常工作压力:0.5Mpa MFC不受气体的温度和压力影响它的精度和重复性精度,响应时间快1秒以内达到设定值
4.一般MFC都是以氮气标定的,如客户需要的是测量Ar流量,出厂时,厂家就按氩气标定好,也可提供氩气和氮气之间换算的比列系数,你只要乘以这个系数就可以,进气口压力大小都是一样的

可咨询一些真空镀膜行业相关技术员。例如肇庆振华真空机械有限公司。
肇庆市真空度膜行业是比较兴旺的。

这样才帮助的到你。
被采纳
宁夏神华煤炭 发布日期:2012-09-15
通过质量流量控制器来实现。国产的有七星华创等,进口的MKS,Brooks等。量程根据泵的抽速和真空室容积以及需要控制的压强值来选择,估计你用500sccm的肯定只大不小了。
同样适用于氮气,但标定值会略有差别。

进口压力小于0.2MPa就没问题,过大的话会损坏质量流量控制器。
全部评论
jch199901 发布日期:2012-09-14
采用溅射镀膜,
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