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我检查过设备都没漏气,在低真空时候还很正常 但一开高真空就不行了只能达到很底的真空度, 这个问题你得分部
真空室是1.5立方米,配600扩散泵,原来抽到0.05pa只要3分钟,现在需要20分钟,不是突然变成这样的
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