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请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率?

海健_老涌    2013-11-04    椭圆偏振仪    浏览 638 次

列为高人,请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率?其原理是什么?为什么椭偏仪不能测量厚度大于200纳米的氧化硅??小弟正在困惑中。。。。。。。... 列为高人,请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率?其原理是什么?为什么椭偏仪不能测量厚度大于200纳米的氧化硅??小弟正在困惑中。。。。。。。

精彩问答
hdbdmxJicnsnZn 发布日期:2013-11-05
我只有一本关于椭偏原理的书,关于如何测量折射率,这要看生产厂家提没提供这项功能,你用的是谁家的机台?我说一种方法吧,如果是光谱式的话,需要测量折射率的那一膜层可以用柯西色散模式建模型,这样可以将每一波长对应的折射率以及K值求出来。所以我想问下你用的是哪一家的
全部评论
13934911355mxl 发布日期:2013-11-05
我有一个关于你问题的资料,如果想要,可以站短
书生漫画作品 发布日期:2013-11-05
椭偏仪方面的paper很多,反射膜厚仪方面的几乎没有,很奇怪!
YangjunlLiu 发布日期:2013-11-05
椭偏仪可以测试多晶硅的膜厚和折射率吗?怎么测试。我们现在的一台好像只有测试SIN和SIO2的功能,哪位达人指教一下呢?
pisces611 发布日期:2013-11-05
引用:原帖由 JJ_2ic 于 2008-7-18 09:39 发表 楼主还是找一些椭偏的资料看看吧,椭偏的技术方式比较多,但总的来说,反射光的光强和位相在经薄膜反射后都会改变,我们知道,位相的改变是非常敏感的,所以椭偏能够达到反射式测量达不到的精度。但椭偏有一个问题, ...
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