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为什么mocvd循环冷却水的压力控制精确

852445464    2017-08-11    压力控制器    浏览 495 次

精彩问答
mingzou_007 发布日期:2017-08-12
是一种利用有机金属分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。
优点如下:沉积温度低、不采用卤化物原料,因此在沉积中不存在刻蚀反应,适合大批量生产,可直接生长出绒面结构的zno薄膜,能有效增加入射光的光程,对太阳光谱起到良好的陷光作用。
缺点如下:许多有机金属化合物蒸汽有毒、易燃,反应温度低,因此有时在气相中就发生反应。
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