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成膜机理:

猫咪你好么    2016-04-01    离子溅射仪    浏览 554 次

精彩问答
haijiajgdam 发布日期:2016-04-02
①离子束溅射:在真空状态下,用离子束轰击靶表面,使溅射出的粒子在基片表面成膜,该工艺较为昂贵,主要用于制取特殊的薄膜。
②阴极溅射:主要利用低压气体放电现象,使处于等离子状态下的离子轰击靶面,溅射出的粒子沉积在基片上。
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