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在扫描电镜表征中,为了克服绝缘体样品的荷电效应,可以采取哪些方法

事后坚强    2016-05-30    扫描电子显微镜    浏览 490 次

精彩问答
ty8qj8 发布日期:2016-05-31
扫描电镜克服绝缘体荷电,是个经典的问题
首先从样品制备上来说,保证样品尽量薄且不团聚(对粉末样品),这有助于电荷顺利通过导电胶及样品台流走;表面喷金(碳)处理,是样品表面形成导电膜,有助于电子的流走。
对于电镜参数和模式选择来说,选用尽量低的束流和电压,如果样品很薄且与导电胶接触良好,也可以选用高压击穿样品,消除荷电;减少电子在样品上的驻留时间,例如部分电镜拍照时有集成扫描的模式,可以有效减少电荷在样品表面的累积。
对于分辨率要求不高的样品可以直接选用背散射电子成像,背散射电子的信号很强,可以有效较少荷电对图像的干扰。
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