微流控实验过程中，经常需要实时的了解实验通路上的液体流量是多少以及液体流量的实时变化，以便实验人员能够及时的采取实验方法达到做需要的实验目的。目前，测量微流体实验通路上的液体流量主要使用液体流量传感器，通过传感器读数器连接到PC电脑，然后便可以在PC上的操作软件上实时的监控流体通路上的液体流量的变化。
微流体实验通路上液体流量监测的传感器主要有2种：基于热效应的传感器和基于科里奥利力效应的传感器。如下对这两种传感器做简要介绍。
基于热效应的流量传感器MFS（内部芯片是盛思睿的传感器芯片）
流量传感器的量程范围从1.5 μL/min到5000 μL/min，如下图所示。
高精度液体流量传感器/热式流量传感器（Microfluidic Flow Sensor，MFS）用于超低流量的监测，其配备M8电气连接后，可通过Elveflow软件直接进行控制。此外，此款流量传感器有5个不同的量程范围以及具有高度化学兼容性特点。
优异的性能
● 已校准的流量----0.07 μL/min到5000 μL/min
● 传感器响应时间--40 ms
● 分辨率----------低至1.5 pL/s
主要的功能
● 当和微流控OB1压力进样泵配对时，可直接输入流量。
● 高化学和生物兼容性
● 双向流量测量（正向和反向）
● 测量不同的液体之前，需要对待测的液体进行校准。
热式流量传感器MFS的规格参数
基于科里奥利力效应的高精密流量传感器BFS
我们与Bronkhorst合作开发了一款适用于微流体的独特科里奥利流量传感器（科式流量传感器，Bronkhorst Coriolis Flow Sensor，BFS）。它提供了各种益处：精度高，范围广泛，与所有液体直接兼容（无需校准）。此外，
√ 兼容所有液体&气体
√ 不需要任何校准
优异的性能
● 大流量范围------1.6 μL/min到500 mL/min
● Z大流量--------500 mL/min
● 传感器响应时间--35 ms
● 准确度----------测量值的2%（常规版本）或者测量值的0.2%（定制版本）
科里奥利力原理
Mini Cori-Flow是根据科里奥利力原理工作的。Mini Cori-Flow仪器可用于同时测量质量流量、温度和密度。Cori-Flow仪器通过两个平行管循环来形成震荡系统的一部分，当流体流过管道时，科里奥利力将会使管弯曲或扭曲，从而引起循环过程中的变量相位的变化或相移，该相位的变化或相移将被传感器感应到。通过Z佳定位的传感器检测极小的管道位移并进行电学估算。其结果输出信号是完全依据真实的质量流量率比率来显示的。由于传感器信号的测量相移与质量流量成正比，因此，Mini Cori-Flow可以直接测量质量流量。测量原理与密度、温度、粘度、压力、热容量或电导率无关。
对流经管道的流体使用科里奥利力效应，可以得出通过管道的质量流量以及二级输出处的流体密度。
这种直接测量非常准确，因为其无需根据温度、压力和密度进行校正，也不需要像热式质量流量计那样依赖流体比热。此外，科里奥利力流量计可与气体和液体一起使用，并通过其在大范围内的高精度和快速响应时间来区分。
科里奥利力流量传感器BFS和热式流量传感器MFS的规格比较
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