Z新型的场发射扫描电镜JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜，因此，即使在很大的探针电流下也能获得很小的电子束斑。此外，使用低加速电压进行元素分析，可以减小电子束在样品中的扩展区域，能进行高空间分辨率的微区分析。
探针电流增大时，通过光阑角控制镜 能获得小的探针直径。
探针电流增大时， 探针直径也变大。
低加速电压下减少电子束在样品中的扩展，同时利用大探针电流进行快速分析。
能够在微区进行高空间分辨率的分析
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