JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜（ACL），这样，即使照射样品的探针电流很大，与从前相比， 也能获得很小的电子束斑。
大探针电流时，用ACL 能获得很小的电子束斑。
探针电流大的时候，束斑直径也变大。
样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb)
倍率：×15,000
加速电压: 5 kV
探针电流 50 nA
Z小化的分析体积使用较低的加速电压， 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤
高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试
Z新型的场发射扫描电镜JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控
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