JSM-7610F 热场发射扫描电子显微镜配备了肖特基热场发射电子枪,因此可以获得很大的探针电流。下 面是对各种样品的快速元素分析结果。
样品:镍基板上的石墨烯薄膜
加速电压:2 kV
探针电流 : 10 nA
EDS检测器:30 mm2
利用7610F的特长-低加速电压下的大探针电流,进行了120秒的快速元素面分布测试。 能分析浅表面上极薄的石墨烯。
样品:硬质合金上的多层膜截面
加速电压:8 kV /
探针电流:38 nA
EDS检测器:10 mm2
样品制备:用CP制作截面
使用10 mm2的SDD检测器,在30秒的短时间内获得了元素面分布图。
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