可调谐激光器--移相干涉法测量光学表面质量

前言：确定关键部件的表面质量，即与预期形状的偏差，无论是平面还是球面等，是高精度制造的关键。当光束照射到有疵病的光学元件表面时, 会产生杂散光。在光学系统中, 影响其性能的主要原因是由系统内部产生的大量散射光造成的, 即使整个光学系统设计得再好, 如果内部光学元件的质量不过关, 那么构成的系统也不能正常工作。

干涉仪测量方法

传统的检测方法由干涉仪组成，例如Twyman-Green干涉仪（如下图所示），将测试光与参考光学进行比较。干涉仪的两个臂之间的光程差会在光电探测器的光屏上形成干涉条纹（通常为CCD阵列）。在参考光和测试光之间引入小的倾斜度会产生干涉图样，其中与均匀间隔的直线条纹的任何偏差都意味着测试组件中的像差，如下所示。

虽然许多移相干涉仪都使用HeNe激光器作为光源，但使用外腔可调谐激光器（例如Newport的TLB-6700）却具有明显的优势。首先，当光学元件镀有对633 nm的抗反膜时，可选择与光学元件的工作波长完全匹配的光。其次，通过不平衡的两臂和改变激光波长可以实现时变相移，从而无需线性驱动器对参考光进行平移。

Newport可调谐激光器

Newport的TLB-6700系列可调谐激光器，调谐速度快，范围宽-Z高达 100 nm，调谐波长范围可从407-2450nm。除以上提及应用也可以用作诸如微腔谐振器和原子光谱等方面。

具有非常zhuo越的特性：

·可保证在整个指定的波长范围内实现单模、无跳模调谐。

·电动和压电控制可实现宽范围扫描和微调

·低噪声，窄线宽--是市面上ECDL激光器中线宽Z窄的·集成的光纤耦合

可选型号：