对于低压等离子技术， 气体在真空中通过获取能量从而被激发。
等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。 由此，等离子材料表面可以被有效的改变。
其等离子效应可以分为以下三类
·微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减
·化学反应：材料表面与离子化的气体产生化学反应
·紫外线放射：紫外射线将长链破化合物分解通过改变工艺参数， 如：压力、 发生器功率、 工艺时间、气体流量和气体组成，可以获得不同的等离子效果。
如此便可在一道工序内完成多种工艺效果。
低压等离子技术特点
特别适用于处理2D或3D部件
用于处理散装材料
批处理工艺
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