失效分析是对于电子元件失效原因进行诊断，在进行失效分析的过程中，往往需要借助仪器设备，以及化学类手段进行分析，以确认失效模式，判断失效原因，研究失效机理，提出改善预防措施。其方法可以分为有损分析，无损分析，物理分析，化学分析等。其中在进行微观形貌检测的时候，尤其是需要观察断面或者内部结构时，需要用到离子研磨仪+扫描电镜结合法，来进行失效分析研究。
离子研磨仪目前是普遍使用的制样工具，可以进行不同角度的剖面切削以及表面的抛光和清洁处理，以制备出适合半导体故障分析的 SEM 用样品。
离子研磨仪
TECHNOORG LINDA
扫描电镜
Phenom SEM
01 离子研磨仪的基本原理
晶片失效分析思路和方法
案例分享 1
优先判断失效的位置
锁定失效分析位置后，决定进行离子研磨仪进行切割
离子研磨仪中进行切割
切割后的样品，放大观察
放大后发现故障位置左右不对称
进一步放大后，发现故障位置挤压变形，开裂，是造成失效的主要原因
变形开裂位置
放大倍数：20,000x
变形开裂位置
放大倍数：40,000x
IC封装测试失效分析
案例分享 2
1、对失效位置进行切割
2、离子研磨仪中进行切割
3、位置1. 放大后发现此处未连接。放大倍数：30,000x
4、位置2. 放大后发现此处开裂。放大倍数：50,000x
PCB/PCBA失效分析
案例分享 3
离子研磨仪
SC-2100
适用于离子束剖面切削、表面抛光
可预设不同切削角度制备横截面样品
可用于样品抛光或最 终阶段的细抛和清洁
超高能量离子枪用于快速抛光
低能量离子枪适用后处理的表面无损细抛和清洁
操作简单，嵌入式计算机系统，全自动设定操作
冷却系统标准化，应用于多种类样本
高分辨率彩色相机实现实时监控抛光过程
要说多样品组织研磨仪厂家，那就不得不提起净信研磨仪了，不但研磨设备类型多样、质量性价比高，就单论那样品的研磨
实验室科研人员在做关于植物组织的提取实验时，经常需要将植物根
浙江工业大学环境学院老师需要做PE的相关实验，要求是要将PE颗粒压成纸张薄厚或者研磨粉碎后达到微米级，以便在
赛默飞世尔科技深知，为了满足半导体市场的需求，就需要以惊人速度的不断创新，怀揣不断缩小规模、优化工艺、实现Z
实验目的：研磨鱼骨提取钙铁锌硒等微量元素。 实验地点：ZG农大 实验老师：赵新刚（研究方向：动物类饲
实验地点：肇庆市疾病预防控制ZX肇庆市疾病预防控制ZX是原肇庆市卫生防疫站以及肇庆市职业病FZ院、端州、鼎湖
现在的你还在亲力亲为、费时费力的研磨样品吗？看我，每天都在“偷懒”，但我的样品研磨效果比你的还要好，想知道这
冷冻研磨仪在实验中解决的问题：1、仪器研磨相对于手工研磨工作时更省力方便，实验更安全，研磨速度更快；2、仪器
实验室高通量组织研磨仪是专用于样品研磨的仪器设备，广泛应用于农业、医学等职业实验中，组织研磨仪具有研磨作用好
目前市面上常见的研磨仪类型有行星式球磨仪、臼式研磨仪、刀式研磨仪、盘式研磨仪、颚式破碎仪等等。实验室研磨仪是
沪公网安备 31011502008050号
