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那诺-马斯特的技术能力涵盖哪些方面?

那诺—马斯特中国有限公司    2022-07-18       浏览 131 次

那诺-马斯特专注于薄膜工艺,但对于薄膜工艺方面的各项技术涵盖面广泛,是极少数技术面可以同时涵盖物理气相沉积,化学气相沉积,干法刻蚀,湿法刻蚀,样品表面处理能力的公司。因此我们的产品可以涵盖磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀、离子束溅射、离子束辅助沉积;PECVD、T-ALD、PEALD、PA-MOCVD、PLD;RIE、ICP、IBE、RIBE、ALE;PIII离子注入,RTP;热真空系统;专利技术的兆声无损清洗机(可应用于单晶圆、掩模板,以及带保护膜的掩模板等的无损清洗,以及更小颗粒的去除)。

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