一、场发射扫描电镜分辨率高
在场发射扫描电镜中,人们最感兴趣的信号是二次电子和背散射电子,这两种信号的发射强度随着样品表面的形貌和化学成分而变化。二次电子产区限于入射电子束射人样品的附近区域,从而获得相当高的形貌分辨率,场发射扫描电镜(FESEM)的图像分辨率已经优于1nm,为纳米和亚微米尺度的研究提供了极大的便利。这类电镜属于场发射扫描电镜的高端产品。
二、场发射扫描电镜放大倍率宽
放大倍率与分辨率密切相关,为了获得高分辨率图像,必须使用高放大倍率。光镜放大倍率有限,最 高到1500倍,透射电镜放大倍率可以高达100万倍、扫描电镜放大倍率范围可以从几倍至几十万倍,三种显微镜的放大倍率成为一个系列。在扫描电镜中,利用低倍观察样品的全貌,利用高倍研究样品的微观细节。操作时放大倍率连续可调,使用非常方便。低倍图像有光镜图像的特点,扫描电镜图像比较直观,容易解释。高倍图像可以与相应的透射电镜图像相比对。
三、场发射扫描电镜三维立体效果好
光镜和透射电镜图像景深小,只能观察样品某个平面,在深度方向上是模糊的。扫描电镜图像景深大,有的电镜在电子光学系统上经过特殊设计,可以提供几十毫米的景深范围,即一张场发射扫描电镜像不仅在X,Y两个方向上的细节清晰,而且在图像深度方向也很清楚。一幅两维图像,可以提供三维信息,使人们获得更多的微观信息量,适用于表面粗糙样品的观察,例如:金属材料断口、颗粒样品的三维形态分析。利用扫描电镜样品台的同轴心倾斜,可以获得样品的立体图像对(Stereo pairs),经合成后,变成立体图像,使用图像分析软件可以准确测量深度方向的数据,这是扫描电镜独特的性能。
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