Semicon China 2023即将来袭 | 滨松展台亮点抢先知!

2023年6月29日-7月1日 

Semicon China 2023 上海新国际博览中心，展位号E2139 

滨松中国，期待与您相见

自1988年首次在上海举办以来，SEMICON China已成为中国首要的半导体行业盛事之一。在本次展会中，滨松以倒金字塔产业链概念，立体地展示滨松在半导体行业，从元器件、模块、系统到大型设备的典型产品，围绕半导体量测、半导体检测、涂胶显影、静电去除、SEM、测光、GaN/Perovskite材料的IQE直接测量、GaN晶圆检等具体应用展开介绍。

宝藏光源LDLS

在半导体量测应用中，滨松再一次为大家带来了一款宝藏光源激光驱动白光光源（Laser Driven Light Source），简称LDLS。这是一款利用高能聚焦激光束来驱动氙等离子体的超高亮宽光谱光源。该系列产品不仅可以在170 nm至2100 nm的光谱范围内提供超高发光亮度，比如在DUV的亮度就是传统光源如氙灯的10倍以上，而且整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出了整整一个数量级（>10000 h）。

图1 EQ-99X-FC-S以及选型指南

受到众多客户肯定的微型光谱仪系列产品C9405CC、C10082CA、C11118GA也以实物的形式在此次展会中与大家见面。这三款多波段UV-NIR 微型光谱仪，紧凑型结构设计，非常适用于膜厚测量等量测应用。

图2 从左到右依次：C9405CC、C10082CA、C11118GA

除此之外，滨松还会为大家准备了波长轴和光谱灵敏度特性已经校准的PMA-12光谱仪C10027-01，用于X-ray的光学元件毛细管透镜J12818-01等众多产品。

开创新纪元，光子定量qCMOS相机

在半导体检测应用中，首先为大家推荐的就是拥有开创性概念和前所未有性能的光子定量相机-ORCA-Quest qCMOS相机C15550-20UP。

图3 滨松ORCA-Quest qCMOS相机

该产品实现了“鱼与熊掌兼得”，同时保证了高帧速、高分辨率以及高信噪比，并且读出噪声下降到0.27个电子，终于实现了“光子定量”（Photon number resolving）。

TDI 相机

采用时间延迟积分技术，有效提高图像信噪比，背照式结构，具备高量子效率，在紫外波段QE高达70%（-801）的TDI 相机C10000-801。

sCMOS相机

sCMOS相机C15440-20UP具有低读出噪声0.7e- rms；高量子效率，95% @550nm、高帧频读出，89.1fps以及2304*2304 分辨率。

sCMOS相机C11440-42U40具有高量子效率82%；低读出噪声1.5e- rms以及USB3.0 数据接口40 fps。

图4 从左到右依次：C10000-801、C15440-20UP、C11440-42U40

当然，在半导体检测应用中探测器也是不可或缺的存在，滨松也为大家准备了CCD\CMOS面阵\线阵图像传感器，PMT探测器等产品。

免费样机预约ODPL

首 个无接触无损评价半导体材料晶体质量的方法，通过积分球法测量半导体材料、钙钛矿材料的内量子效率。该产品可以直接测量材料 IQE，具有制冷型背照式 CCD 高灵敏度以及高信噪比，支持 mapping 功能。

图5 ODPL测量方法示意图

失效分析-高分辨率微光显微镜

PHEMOS-X 微光显微镜C15765-01采用的是国际上最 先进的相机传感器制造封装技术以及超精密激光扫描技术，实现对高端制程芯片的快速失效点定位。

图6 微光显微镜C15765-01

PHEMOS-X微光显微镜搭配的是1.35倍高灵敏度大视野FOV红外镜头，它可以同时满足Emmi分析和OBIRCH分析两种功能使用；增加了激光扫描光源的种类，实现对SiC，GaN等第三代半导体材料制成芯片的精确失效定位。

滨松中国上海半导体实验室已于今年6月份正式投入使用，该款产品已经开放给客户参观测试。

MiNY PL Micro LED PL 检查系统

MiNY PL C15740-01是一款采用光致发光检测方法，巨量、快速检测Micro LED晶圆的设备。该产品具有出色的检测稳定性，可以检测出AOI设备无法辨别的发光异常缺陷和波长异常缺陷，可以实现EL设备无法实现的100% 全检。

图7 测量原理

以上是此次滨松中国在semicon展出的部分展品，更多精彩内容欢迎来到展台现场与工程师一对一交流。