2025-01-10 17:05:58ICP-MS在集成电路行业

ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）在集成电路行业中扮演着重要角色。它主要用于高纯材料、超净间环境及工艺介质中痕量元素的检测，如金属杂质分析等。ICP-MS技术以其高灵敏度、低检出限、多元素同时检测及干扰少等特点，确保了集成电路制造过程中材料的高纯度，有效避免了因杂质导致的电路性能下降或失效。此外，它还可用于监控生产流程，确保产品质量，是集成电路行业不可或缺的分析工具。

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