2025-01-10 10:53:25气相沉积碳化硅
气相沉积碳化硅是一种通过气相沉积技术在特定基底上形成的碳化硅薄膜或涂层。该技术利用高温下气态前驱物的化学反应,在基底表面沉积出碳化硅材料。气相沉积碳化硅具有高硬度、高耐磨性、高热稳定性和良好的化学惰性,被广泛应用于切割工具、耐磨部件、高温传感器及电子器件等领域。其制备过程可控,能实现碳化硅材料的精确结构和性能调控,满足不同应用场景的需求。

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2020-12-03 16:08:48从测试含有纳米颗粒的碳化硅样品看Bettersize2600的优良性能
要准确测试含有微米和纳米这种“跨界”样品的粒度分布,是一件困难的事:一是需要有一台既能测微米、又能测纳米的粒度仪,这一点就不容易满足;二是要对样品进行充分分散,包括选择合适的介质、合适的分散剂和适当的外力分散方法;三是要对测试结果进行合理性验证,这一点极其重要。最近,百特实验室用Bettersize2600激光粒度仪测了一个碳化硅样品,粒度分布图如下:图1:Bettesize2600测某碳化硅样品粒度分布图开始,我们对这个结果产生了疑惑:以往的碳化硅样品的粒度分布图形不都是很漂亮的吗?为什么这个碳化硅会是这样的峰形呢?前面的峰到底有没有呢?测的数据对吗?准吗?带着这些疑惑,我们对这个碳化硅样品进行处理,通过配置一定浓度的悬浮液(图2),静置24小时后(图3),来看到底有没有纳米颗粒。图2:制备后进行测试的液体图3:静置一段时间后的液体我们发现,静置24小时后的悬浮液有明显的分层现象,但上清液呈乳白透明状,说明上清液中还有小颗粒。我们通过Stokes沉降定律计算,这些乳白透明状的颗粒ZD直径不大于1μm。我们取上清液,用Bettersize2600激光粒度仪进行粒度分布测试,结果是D10=41nm,D50=72nm,D90=371nm,Dmax=900nm。说明这个碳化硅样品是纳米和微米颗粒的混合物。初步判断图1的结果是正确的。图4为了更进一步考察,我们对这个碳化硅样品用场发射扫描电镜进行拍照,看看是否存在纳米颗粒。从不同倍数的电镜照片看,ZD颗粒有10μm左右,100纳米及以下的颗粒(红圈内)也确确实实存在的,而且含量非常多。证明Bettersize2600激光粒度仪的测试结果(图1)是正确的。从这个样品的测试和验证过程证明,Bettersize2600激光粒度仪能准确测量纳米和微米混合样品的粒度分布。从Bettersize2600激光粒度仪的设计来看也具备这个能力,因为它采用了正反傅里叶结合光路,能准确探测前向、侧向和后向散射光,实现了全角度测量,从而保证了细颗粒端的测量精度。图:Bettersize2600测试原理图:Bettersize2600激光粒度分布仪
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