从原理到实践：TMC被动隔振产品介绍

     在前三篇内容中，我们逐步揭开了振动与隔振的“面纱”：先认识到振动是精密设备的“隐形杀手”，再通过VC曲线掌握了环境振动的“体检”方法，最后深入拆解了被动隔振的原理与关键参数。理论的价值终究要落地于实践，今天我们就聚焦TMC的核心被动隔振产品，看看这些“振动过滤器”如何将隔振原理转化为实实在在的稳定，为不同场景下的精密设备保驾护航。

基于"低固有频率+精准阻尼控制"这一被动隔振的核心设计逻辑，TMC针对性地研发了多种阻尼等级的气浮隔振器，分别应对半导体、光学、生命科学等高精密领域的不同隔振需求。无论是纳米级的光刻工艺，还是微米级的细胞观测，亦或是原子级的表面分析，TMC都能提供量身定制的隔振解决方案。

1、Gimbal Piston气浮隔振器-高性能隔振首选

核心技术：双气室低刚度空气弹簧 + 精密阻尼孔设计

下图展示了 TMC 公司的Gimbal Piston 隔离器的剖视图。采用双气室设计，两气室之间通过精密小孔相连。当活塞上下运动时，空气流经小孔产生阻尼力，实现大位移强阻尼、小位移弱阻尼的智能调节，既保障了快速稳定，又不影响对小振幅振动的隔离效果。此类隔振器在大约几毫米位移量级时，阻尼因子 Q ≈ 3。

TMC的标准气浮平台均用Gimbal Piston?气浮隔振器作为标准配置。在并排测试中，Gimbal Piston的性能一直优于其他气浮隔振器。它在所有轴上都有出色的低频隔振性能，即使在极低的输入激励水平下也能保持其性能规格。专有的减振技术使Gimbal Piston能够稳定上重下轻的有效载荷，并能迅速消除隔振台面的干扰。

它具有轻微的阻尼特性，对典型的低振幅环境地面振动具有高响应性，而对于严重的瞬态干扰（例如突然的负载变化或顶板撞击），它可实现非常好的减振效果。结果表明，Gimbal Piston隔振器可提供卓越的隔振效果，几乎可以在几秒钟内消除任何严重干扰。它还可以稳定具有相对较高重心的隔振系统，而不会影响隔振效果。 

优点：

• 从2 Hz开始的垂直和水平隔振

• 在10 Hz时振动衰减95％以上

• 几乎无摩擦，避免了滚动摩擦向静摩擦过渡

• 通过充当万向节来调整水平位移

  
  

 2. MaxDamp 高阻尼隔振器：共振与扰动的“双重守护”

TMC 的 MaxDamp 隔离器采用不同的方法：多轴粘性流体阻尼（美国专利号 5,918,862）。该隔离器使用一种极低放气、高粘度的合成油，这种油被密封在隔离器的单一气室内。特殊的几何结构确保隔离器能够以相同的效率阻尼垂直和水平运动（在 X 和 Y 两个方向上）。这些隔离器可以将阻尼扩展到接近临界水平，以满足那些需要此特性的应用。MaxDamp 隔离器允许工作台运动后有效载荷能够非常快速地稳定下来，同时仍能提供显著的振动隔离效果。通过“高阻尼设计”，在共振抑制与隔振效率之间找到了完美平衡。适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。比如半导体检测、光刻机以及其他具有相对较高力的电动工作台的仪器。

优点：

• 更快的稳定时间

• LCD和半导体制造和检测工具的生产率更快、产量更高

• 隔振表面“更硬”，手感更稳，同时保持高隔振性能

• 有效抑制气流、噪声及“机上”力引发的振动

• 更好的稳定性和更高的承载能力

• 模块化设计，可以升级为Electro-Damp主动隔振

3.UltraDamp 超高阻尼气浮隔振器

TMC 还推出阻尼更强的 UltraDamp 气浮隔振器，适用于高力、高速XY电动工作台等高动态负载场景。其极高阻尼水平确保共振放大不超过 3–5 dB，广泛用于LCD、PVC检测、光刻机等设备

优点：

• 结合了自调平Gimbal Piston?空气隔振器的优势，并具有极其主动的阻尼作用

• 非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷，可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

• 更快的工具吞吐量和更高的产量

• 从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振

• 共振的最小放大（3-5 dB） 模块化设计。可升级到Electro-Damp主动消振 

性能对比：GimbalPiston?、MaxDamp?和UltraDamp?三款隔振器的隔振效率和阻尼水平对比：

以上是TMC三种阻尼级别的气浮隔振器，根据应用领域的不同，TMC提供多种规格的气浮隔振器供您选择。

1. Micro-g系列连杆支撑系统

Micro-g支撑系统适用于大部分光学平台和面包板，可提供多种配置选项，包括高度、负载、隔振性能等。是您的最优的选择。

• 理想搭配CleanTop光学平台和面包板

• 4柱/6柱系统可选

• 可互换模块化隔振设计，支持三种阻尼级别灵活升级

• 载重能力 - 根据您工作台和机载设备的重量，可以选择载重能力为1,400、4,000、6,000、10,000或15,000磅（分别为600、2,000、3,000、4,500或7,000千克）的支撑系统。定制系统可以从标准组件进行配置，以支撑几乎任何结构。

• 多种标准高度可选，支持定制 - 七个标准高度：12、16、18、22、24、28和32英寸（分别为305、406、457、559、610、711和813毫米） - 从地面到台面的人体工程学距离为36英寸（900毫米）。

• 可选脚轮 - TMC的可选脚轮采用坚固耐用的重型设计，可轻松移动安装好的工作台。工作台定位后，脚轮缩回以在设备操作期间与地面牢固接触。与其他Micro-g功能一样，它们可以在一开始时就集成在设备中，或者如果您选择升级，也可在稍后购买。脚轮在最小承重能力的支柱上从外部缩回，在中等承重能力的支柱上从内部缩回，而最高承重能力的支柱无脚轮。高度不到18英寸的支柱无脚轮。

2. Micro-g系列独立支腿

• 不搭配横梁而独立安装，定位更灵活

• 负载能力可选500kg和1000kg，承重能力更强

• 隔振模块化，三种阻尼级别可选

• 标配超大尺寸钢制调平底板

• 多种标准高度可选（305/406/457/559/610/711/813mm）

• 与伸缩脚轮不兼容

3. 适用于设备内部的Micro-g气浮隔振器

62系列气浮隔振器采用模块化、可互换和可升级的设计，是OEM应用的理想选择。

• 专为OEM应用而设计 

• 支撑90千克到8,200千克（200到18,000磅）范围内的有效载荷

• 即使在安静的环境中也能提供高水平的振动衰减性能

• 多级阻尼可供选择

• 多个版本的高度控制

• 隔振器设计可互换。可轻松适应需求的变化，节省重新设计成本

标准型号选购表：

选择TMC：从本土制造到中国服务，全程保驾护航

作为美国唯一100% 本土生产光学平台与隔振器的供应商，TMC 凭借"设计、研发、制造一体化"的优势，能为终端用户提供高度灵活的定制方案。从基础研究到工业生产，从生命科学到半导体制造，TMC的产品已经在全球数以千计的实验室和工厂中证明了自己的价值。

森泉光电有限公司作为TMC在中国的指定代理商，自2009年起持续为客户提供可靠的TMC产品与解决方案。我们不仅提供产品，更提供全方位的技术支持和完善的售后服务，从现场振动测试到系统方案设计，从安装调试到维护升级，我们始终与客户同行，共同解决振动控制的难题。

选择TMC，就是为您的精密设备选择了一份宁静与稳定。让我们帮您打造一个"零振动干扰"的工作环境，为您的科研发现和工艺突破保驾护航。

如果您正在为振动问题困扰，或者希望进一步提升设备的稳定性，欢迎随时与我们联系。我们的技术团队将为您提供专业的振动分析和高性价比的解决方案。

被动隔振虽已能满足多数需求，但在超精密制造、纳米级测量的前沿领域，我们需要更智能的解决方案。下一期，我们将深入介绍主动隔振技术。敬请期待！