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二手 日本电子 JSM-6390 扫描电子显微镜 SEM参数

来源:上海睿测电子科技有限公司 更新时间:2025-12-09 18:30:23 阅读量:26
导读:作为扫描电子显微镜的一款经典型号,JSM-6390以其的分辨率、可靠的性能以及适应广泛样品的能力,成为许多研究机构和企业的设备。本文将详细介绍JSM-6390的主要参数、特点及应用场景,帮助相关领域的从业者了解该设备的性能优势。

二手日本电子 JSM-6390 扫描电子显微镜 SEM参数详解


JSM-6390是日本电子公司(JEOL)推出的一款高性能扫描电子显微镜(SEM),广泛应用于实验室、科研以及工业检测等领域。作为扫描电子显微镜的一款经典型号,JSM-6390以其的分辨率、可靠的性能以及适应广泛样品的能力,成为许多研究机构和企业的设备。本文将详细介绍JSM-6390的主要参数、特点及应用场景,帮助相关领域的从业者了解该设备的性能优势。


主要参数

参数项 数值/说明
加速电压范围 0.3 kV – 30 kV
分辨率(高分辨率模式) 3 nm(30 kV)
工作距离 8 mm(低真空模式下可达到2 mm)
放大倍率 10× – 300,000×
探测器 二次电子探测器(SE),背散射电子探测器(BSE)
样品室压力 高真空(10^-6 Pa)和低真空(10^-2 Pa)模式
样品尺寸限制 最大样品尺寸:150 mm x 150 mm,最大样品重量:2 kg
扫描模式 二次电子图像(SE),背散射电子图像(BSE),X射线谱分析(EDX)
图像分辨率 1024 × 768像素(可调)
电子束直径 最小50 nm
EDS分析 配合能谱仪,支持元素成分分析和定量分析

特点与优势

1. 超高分辨率成像

JSM-6390在30 kV加速电压下可达到3 nm的分辨率,满足高要求样品的成像需求。无论是在材料科学、生物医学还是纳米技术领域,它都能够提供清晰、细腻的显微图像。


2. 多样的扫描模式

该型号提供了二次电子(SE)和背散射电子(BSE)两种探测模式,能够帮助研究人员在不同的成像需求下获得佳图像。二次电子模式适用于表面形貌的观察,而背散射电子模式则适合用于样品的元素对比分析。


3. 多功能的X射线分析

配备能谱仪(EDS)后,JSM-6390能够进行元素分析,定量测定样品中不同元素的分布。对于合金、材料成分分析和微小区域的元素分布研究尤为有效。


4. 宽范围的加速电压

该显微镜支持从0.3 kV至30 kV的宽范围加速电压调节,使其能够适应不同类型样品的观察需求。低电压模式(如0.3 kV)适合观察生物样品和热敏感材料,而高电压模式则适合观察高导电性材料和进行高分辨率成像。


5. 高效的低真空模式

JSM-6390的低真空模式可以在较低的真空环境下进行样品观察,避免了传统高真空模式下样品表面发生电荷积累,适用于非导电材料如生物样品和聚合物的观察。


6. 智能化操作界面

设备配备直观的操作界面,用户可以轻松设定各种扫描参数并实时观察图像。高度自动化的功能减少了操作难度,即使是经验较少的操作员也能在较短时间内熟悉设备操作。


应用领域

1. 材料科学

在材料科学领域,JSM-6390被广泛用于金属、陶瓷、合金以及复合材料的表面形貌研究和微观结构分析。通过其高分辨率的成像能力,研究人员可以清晰地观察材料的微结构,评估其性能和耐用性。


2. 生物医学

JSM-6390特别适合用于生物医学研究中,如细胞组织的形态观察、微生物分析以及生物样品的表面形貌研究。低电压模式和低真空模式对脆弱的生物样品非常友好,能够避免样品损伤。


3. 半导体行业

在半导体行业,JSM-6390用于检测芯片表面缺陷、微裂纹以及金属层结构。它的高分辨率成像和背散射电子成像模式为半导体材料的质量控制提供了的数据支持。


4. 环境科学

该设备还在环境科学中发挥着重要作用,能够用于分析矿物质、土壤颗粒、岩石等样品的微观结构和成分分布。EDS功能尤其适合用于环境样品的元素分析。


场景化FAQ

1. JSM-6390适用于哪些类型的样品?

JSM-6390支持广泛的样品类型,包括金属、陶瓷、矿物、聚合物、电子元件、以及生物样品等。其低真空模式尤其适用于非导电样品的观察。


2. 使用JSM-6390进行X射线分析时需要注意什么?

在使用X射线能谱分析时,需要根据样品的尺寸和形状调整合适的工作距离和加速电压。对于较厚的样品,建议使用较低的加速电压,以确保分析结果的准确性。


3. 如何保证JSM-6390的高分辨率成像效果?

为了获得佳的成像效果,建议在使用高分辨率成像时选择适当的工作电压(如20 kV左右)并尽量减少样品的运动。保持设备的清洁和定期校准也有助于确保显微镜的成像质量。


4. 设备的维护是否复杂?

JSM-6390的维护工作相对简便,定期检查样品室和电子枪的状态,清理探测器并定期进行校准是维护的基本内容。日本电子公司还提供了专业的售后服务支持,确保设备的长期稳定运行。


5. 能否通过JSM-6390进行在线观察和成像?

JSM-6390支持实时成像功能,用户可以在显微镜控制界面上实时查看样品的扫描图像。该设备还支持图像的即时保存和导出,便于数据分析和报告编写。


结语

JSM-6390扫描电子显微镜作为一款高性能的显微成像工具,凭借其的技术参数、灵活的操作模式和广泛的应用领域,已经成为科研和工业界的重要设备之一。无论是在材料分析、生命科学研究,还是在质量控制、故障诊断等工业应用中,JSM-6390都能提供精确的图像和数据支持。如果您正考虑购买二手设备,JSM-6390凭借其稳定性和耐用性,将是一个值得投资的选择。


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