高通量分析电子显微镜JEM-ACE200F上市

日本电子株式会社 ( 社长　栗原 権右衛門 ) 宣布：高通量分析电子显微镜JEM-ACE200F开发了，于2018年12月开始销售。

开发背景

随着半导体工业中器件的进一步小型化，使用透射电子显微镜(TEM)分析器件的结构、局部应变、参杂浓度等已经越来越重要。特别是形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的要求。针对这些需求，日本电子开发了一种新的TEM—JEM-ACE200F。JEM-ACE200F通过创建实际操作工作流程系统，无需操作人员看管操作，即可实现数据的自动生成。由于集成了高端电镜JEM-ARM200F和通用型电镜JEM-F200硬件技术，JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现，同时，其外观方面也进行了更为精致的设计。

主要特点

1. 高通量

   与自动显微镜调谐功能(TEM/STEM)相结合的快速数据采集。

   缩短抽真空时间，从插入样品杆到开始观察只需30秒。

2. 友好的用户界面

   基于日常显微镜操作的精密GUI。

   所有的操作都可以通过鼠标操作来完成。

3. 流程方案易于编程和更改

   工作流程的方案可以用直观设计的工具进行编程

   工作流程可以使用各种标准化的编程语言进行灵活的编程。

4. 环保设计

   采用高度环保的外壳。远程操作。

主要参数