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高通量分析电子显微镜JEM-ACE200F上市

来源：捷欧路（北京）科贸有限公司分类：应用方案 2020-01-10 13:45:50 859阅读次数

日本电子株式会社 ( 社长　栗原権右衛門 ) 宣布：高通量分析电子显微镜JEM-ACE200F开发了，于2018年12月开始销售。

开发背景

随着半导体工业中器件的进一步小型化，使用透射电子显微镜(TEM)分析器件的结构、局部应变、参杂浓度等已经越来越重要。特别是形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的要求。针对这些需求，日本电子开发了一种新的TEM—JEM-ACE200F。JEM-ACE200F通过创建实际操作工作流程系统，无需操作人员看管操作，即可实现数据的自动生成。由于集成了高端电镜JEM-ARM200F和通用型电镜JEM-F200硬件技术，JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现，同时，其外观方面也进行了更为精致的设计。

主要特点

1. 高通量

与自动显微镜调谐功能(TEM/STEM)相结合的快速数据采集。

缩短抽真空时间，从插入样品杆到开始观察只需30秒。

2. 友好的用户界面

基于日常显微镜操作的精密GUI。

所有的操作都可以通过鼠标操作来完成。

3. 流程方案易于编程和更改

工作流程的方案可以用直观设计的工具进行编程

工作流程可以使用各种标准化的编程语言进行灵活的编程。

4. 环保设计

采用高度环保的外壳。远程操作。

主要参数

TEM分辨率 ( 200 kV)	Point image 0.21 nm Lattice image 0.10 nm Information limit 0.11 nm
STEM分辨率 (200 kV)	STEM DF image 0.136 nm STEM BF image 0.136 nm
电子枪	Schottky field emission gun, ZrO/W(100) emitter
加速电压	60 to 200 kV (80, 200 kV; standard, Other voltages; option)
样品移动	X, Y: ± 1.0 mm Z: ± 0.2 mm
样品倾斜角度	TX/TY (with Specimen Tilting Holder) ±20°／±25° TX (with Specimen High Tilting Holder) ±80°
可选	Energy dispersive X-ray spectrometer (EDS), Electron energy-loss spectrometer (EELS), Multi-specimen auto transfer system, Integrated TEM control system (Automation Center), TEM/STEM tomography system

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