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为什么选择氦气作为示踪气体

来源:伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2023-04-07 10:40:37 阅读量:189

为什么选择氦气作为示踪气体
对示踪气体的要求:
1. 无害: 不能对人体, 环境, 被检件, 检漏仪造成污染, 伤害或是存在安全隐患;
2. 质量轻, 惰性气体, 能穿透微小细缝;
3. 化学性质稳定, 不会起化学反应或易燃易爆;
4. Zhao是只有在空气中含量尽可能少的气体, 才能满足检漏灵敏度方面的要求.

示踪气体种类
1. 氢气 H2
2. 氦3(氦气同位素气体)
3. 氦4(He4 )

目前, 全世界绝大部分氦质谱检漏仪的示踪气体采用的是氦气
一般检漏都用氦气 He 作为示踪气体, 也有用氢气 H2 作为示踪气体的. 氢和氦都是比较理想的示踪气体: 空气中的含量少, 质量轻, 运动速度快, 同等条件下, 直线运动距离长. 实际使用中, 也相对比较容易获取, 可以大量使用. 但氢气在使用中有一定的安全问题,所以实际大部分检漏使用的是氦气.

上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体, 主要原因如下
1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.
2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.
3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.
4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度.
5. 氦在被检件及真空系统中不易被吸附, 这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏, 提高了仪器的检漏效率.

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式检漏仪到检漏模块, 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 提供无损泄露检测的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s 并提供泄露数据, 数据可用于改善生产工艺. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.

上海伯东检漏仪推荐型号

型号

ASM 340

ASM 390

ASM 306S

ASM 310

ASI 35

图片

氦质谱检漏仪 ASM340

移动式检漏仪ASM390

吸枪检漏仪ASM306S

便携式检漏仪  ASM 310

检漏模块ASI35

特点

多功能多用途
前级泵可选油泵, 干泵或不配前级泵

大抽速移动式
无油前级泵

吸枪嗅探
无油前级泵

便携式
无油前级泵

检漏模块

检漏模式

真空
吸枪

真空
吸枪

吸枪

真空
吸枪

真空
吸枪

检测气体

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

Z小检测漏率 Pa m³/s

真空模式: 5x10-13
吸枪式: 5x10-10
目前业界公认Z小漏律

真空模式: 1X10-13

吸枪式: 1X10-9

吸枪式: 1X10-8

真空模式: 5X10-13

吸枪式: 1X10-8

真空模式: 5x10-13
吸枪式: 1.5x10-9

对氦气的抽速 L/s

2.5

10

-

1.1

总泄露模式: 6

常规模式: 1.8

前级泵抽速 m3/h

油泵 15
干泵 3.4

35

-

1.7

-

进气口压力 mbar

25

20

-

15

总泄漏测试模式 18
高灵敏度模式: 0.2

常规模式: 1

进气口

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

-

DN 25 ISO-KF

DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF

重量 kg

56

125

22

21

真空模块 14.5,电子模块 4.5 控制面板 1.5

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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