微透镜阵列用于激光匀化光路调试过程注意事项

       微透镜阵列调试过程中，需要主要的事项主要有光源质量M²、对准、光路放置、入射光准直问题。

       光源的质量M²只要大于5一般都适用于该平顶光整形光路。该激光匀化光路是将准直入射的光，重新细分成规则排布的细小光束，对称展开实现激光能量在光斑区域的均匀分布。其均匀性，根据实验条件不同，可以达到70~80%。理论上，口径P越小，其匀化效果越好。但小口径，同时会带来衍射的干扰的影响，导致终端的匀化效果反而不理想。一般我们建议适用口径尽可能大于300μm。如果激光的光源的想干性没那么强的，也可以适当小些。需要注意的是，匀化光斑的四方微弱的衍射属于正常情况，可以同过提高精度和面型光洁度改善，但是对应的成本过高，性价比不高。

       对准——主要是两片微透镜阵列之间子单元的对准，这也是一般推荐使用同型号的微透镜阵列的原因——有利于对准。当然，不同型号接近的也可以。如果实验中边沿过渡带比较明显，不够锐利可以通过旋转微透镜阵列的角度做调整，顺时针90°旋转。 

       光路放置问题——首先是微透镜阵列的放置。从图中可以明显看到，两片微透镜阵列是凸面对外，平面相对的。两者之间的距离即焦距的长度，可以稍微长一些。聚焦镜的位置，没有严格的要求，可以等光路放置好后调整其前后距离对平顶光整形光斑的大小和效果做微调。也可以微调两个微透镜阵列之间的距离微调。 

       入射光的准直——入射光的准直性越好，出射效果越佳。

       激光加工领域中，常常需求出射的激光能量分布为平整均匀的，亦即常说激光匀化，对光源进行平顶光整形。针对不同的激光，市面上主要流行与微透镜阵列、DOE元件和非球面镜等三种常见的。而这种有细分出多种不同的镜片。其中微透镜阵列为ROE型元件，具备适用波长广，成本低的，匀化效果好的特点。常见的微透镜阵列匀化光路有单片微透镜阵列，即双面微透镜阵列或称双面复眼透镜。另一种是两片，平凸型的复眼透镜的微透镜匀化光路。