圆形电子束光刻系统JBX-8100FS系列闪亮登场

圆形电子束光刻系统JBX-8100FS系列闪亮登场

—实现了高产低耗—

日本电子公司（ 董事长兼总裁栗原权右卫门）推出的新产品—圆形电子束光刻系统JBX-8100FS系列于2017年3月上市。

产品开发的背景

  圆形电子束光刻系统作为通用性强，制作超微细图形工具，已被广泛的应用于各种研发及生产领域中。Z小加工尺寸可达到数纳米〜数十纳米，但同时也存在着产能低、运行成本高等潜在的问题。为了突破这一瓶颈，JEOL开发了JBX-8100FS系列，通过全方位的设计优化，实现了更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能。

主要特征

☆ 节省空间

标准的系统占地面积为4.9m（W）×3.7m（D）×2.6m（H），比以往机型占用空间更小，外形更加紧凑美观。

☆ 低功耗
正常工作时的功耗约为3kVA，仅需以往机型耗电量的1/3。

☆ 高产能
具备高分辨率和高速两种刻写模式，非常适用于超微细加工以及批量生产。该设备减少了刻写过程中的无谓耗时，并将扫描频率提升至业界Z高Z水准的125MHz (以往机型的1.25～2.5倍)，使其具备更高的生产能力。

☆ 机型
JBX-8100FS系列设有G1（基本版）和G2（全配版）两种机型。G1机型装机后也可进行升级，使其支持更高的应用需求。

☆ 新功能
安装光学显微镜（选配）后，在避免光刻胶感光的的同时可对材料上的图形进行确认。设备还配备了信号塔（标配），实现了视觉范围内的系统运行状况监控。

☆ 激光定位分辨率 
采用分辨率为0.6nm的激光干涉仪，对样品台位置进行高精度的量测控制。

☆ 系统控制 
配备了Linux®系统，图形用户界面使操作更加简单，便于初学者使用。数据准备程序支持Linux®和Windows®

备注：

Linux® 为Linus Torval在日本及其它国家的注册商标或商标
Windows为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标