洁净室烘箱是否要选配HEPA过滤系统

卡博莱特·盖罗

关于洁净室烘箱是否要加HEPA（High Efficiency Particulate Air）过滤系统一直是个热议的话题。为了说清楚这个话题，我们要了解一下什么是洁净室烘箱，与普通烘箱有什么区别。首先洁净室烘箱的定义是：可以在洁净室环境内使用的烘箱。这里强调的是洁净室，也就是说洁净室烘箱不能在普通环境中使用，否则达不到洁净度的要求。而普通烘箱加配HEPA过滤系统后，虽然一定程度上能过滤炉膛中的颗粒，但是炉膛与保温棉之间并不是全密闭的；装取样品时，空气中的颗粒会直接接触样品。以下是这两种烘箱的配置和适用场景：

类型	适用场景	HEPA配置	维持洁净度方式
普通烘箱	普通实验室或低洁净度环境	必配HEPA/ULPA	内循环+HEPA过滤
洁净室烘箱	已建成的洁净室（如半导体无尘车间）	无需内置HEPA	依赖洁净室层流送风系统

普通烘箱为了保证内部一定的洁净度，需通过HEPA过滤系统净化空气；洁净室烘箱直接使用洁净室预过滤的空气。洁净室内的颗粒，可以通过洁净室内的过滤系统清除。

为什么不在洁净室烘箱上再增加一套HEPA过滤系统，岂不是除尘更高效？其实不然，HEPA过滤器的风阻较高（约250~400 Pa），可导致炉膛气流速度降低，影响温度均匀性，温度更有可能会超温；风机负载增大，能耗上升。HEPA过滤系统长时间使用后，会富集灰尘颗粒，反过来会污染洁净室。最后HEPA耐温通常120℃-350℃，需要更高温度的热处理要求，则无法使用，如：半导体器件、透镜、镀膜后退火工艺。

无HEPA过滤系统的洁净室烘箱如何保证洁净度呢？除了洁净室本身的过滤系统外，洁净室烘箱制造工艺与普通烘箱有很大区别，才能确保工艺环境符合洁净标准ISO 14644-1。

关键性特点

o   密封性：炉门处采用硅胶密封，防止外界污染侵入。内部保温材料完全与炉膛和洁净室环境隔离，密封焊接在炉体的夹层中。

o   空气循环：搭配高效风机，确保炉膛内部气流均匀且无死角。风机采用全封闭无刷电机，运行时本身不产生尘埃和颗粒。

o   烘箱外壳涂层：光滑的环氧树脂涂层，不会剥落。

炉膛材质：内腔为316L不锈钢，表面电解抛光或钝化处理，减少颗粒脱落。炉膛焊接处也作钝角处理，方便清理。

只有这样才能确保烘箱在日常使用时，设备本身不会产生污染洁净室的尘埃和颗粒。至于样品在热处理过程中，如果有可能潜在的挥发物、颗粒，设备可选配排气风机。连接洁净室的废气排风管道。更可只把烘箱的炉门这部分安装在洁净室内，烘箱的炉体部分安放在灰室内。如下图所示。

此次展示的卡博莱特盖罗洁净室烘箱型号分别是CR（最高温度250℃）和HTCR（最高温度600℃），炉膛有多种规格尺寸，具体可参见官网。

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