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无锡冠亚镀膜机配套深冷设备冷冻机 LJ-15W特点

来源:无锡冠亚智能装备有限公司 更新时间:2025-12-09 08:00:26 阅读量:37
导读:该机型以紧凑的模块化结构、低振动与高稳定性著称,能够在沉积腔体与基底之间提供持续、均匀的低温环境,确保薄膜生长的温控可重复、可追溯。 LJ-15W 适配冠亚镀膜机的配套体系,支持快速降温、稳定控温以及远程监控,成为高端薄膜工艺链条中的关键环节之一。

产品概述

无锡冠亚镀膜机配套深冷设备冷冻机 LJ-15W,专为镀膜工艺中的低温控场景设计。该机型以紧凑的模块化结构、低振动与高稳定性著称,能够在沉积腔体与基底之间提供持续、均匀的低温环境,确保薄膜生长的温控可重复、可追溯。 LJ-15W 适配冠亚镀膜机的配套体系,支持快速降温、稳定控温以及远程监控,成为高端薄膜工艺链条中的关键环节之一。


主要参数与型号对照

  • 型号与用途:LJ-15W,深冷设备冷冻机,专为无锡冠亚镀膜机配套设计
  • 额定制冷功率:15 W(在目标温区实现持续制冷)
  • 最低工作温度:-196°C(深冷能力覆盖常见镀膜工艺的工艺窗口)
  • 温控精度:±0.5°C,温度波动通常控制在 ±0.2~0.5°C 区间
  • 温度范围:可覆盖从 -150°C~-196°C 的工作区间,具体取决于腔体配置
  • 噪声等级:≤ 52 dB(A),适用于安静的实验室环境
  • 电源与环境:220 V/50 Hz;工作环境温度 15–30°C,湿度≤80% 相对湿度
  • 外形尺寸(长×宽×高):约 550 × 480 × 900 mm
  • 重量:约 68 kg,便于现场安装与移位
  • 控制与接口:数字显示控制、PID 控温;标准配备 RS-232/RS-485 通信接口,选配 USB
  • 冷却循环:闭环低温循环系统,配有高效热交换器与真空封装,确保热源与腔体之间良好热传导
  • 安全保护:过温、低温极限、传感器断线、异常压力/漏液等多点保护
  • 兼容性:与冠亚镀膜机的真空腔、样品托盘与连通管路的接口标准化设计,便于快速对接

关键特点

  • 高稳定性:采用高刚性机身与低热源耦合设计,减少振动对薄膜沉积的干扰,提升涂层均匀性。
  • 快速降温与锁定:启动后短时间内进入目标温区,温控回路通过高精度传感器实现快速锁定,复现性好。
  • 模块化集成:热源、控制模块、传感单元采用可拆卸结构,便于现场维护与部件替换,降低停机时间。
  • 能效与热管理:优化风道与热交换路径,减少待机功耗,在不影响降温速度的前提下实现更低能耗。
  • 数据可追溯:具备在线数据记录与简单离线分析能力,兼容实验室数据管理系统,便于工艺优化和质量追踪。
  • 安全性优先:多重保护机制覆盖温度、压力、传感器健康状态,降低设备异常对工艺的影响。

兼容性与接口

  • 物理接口:符合镀膜腔体的标准法兰与螺纹接口,配套连接管路与样品托盘遵循统一规范,减少二次加工需求。
  • 控制协同:可与冠亚镀膜机的工艺控制系统进行时间同步与参数传递,确保温控策略在沉积全周期内一致执行。
  • 数据通信:RS-232/RS-485 通信可选,便于将温度曲线、报警事件等数据接入数据采集平台,支持自定义报表。
  • 维护接口:易拆卸的热交换单元与传感组件,现场维护与部件替换速度快,降低停机影响。

应用场景

  • 薄膜沉积中的基底温控场景,确保膜层应力与晶相成长在预设区间内稳定。
  • 多步镀膜工艺中的温度跳变控制,减少相变引发的膜层缺陷与颗粒生成。
  • 大尺寸基底的均匀降温与温度保持,提升涂层平整度与附着力的一致性。
  • 与真空腔体联动的冷却回路,支持脉冲蒸发、溅射等工艺的温度同步。
  • 高纯度材料处理场景,借助稳定低温减少挥发性组分对薄膜结构的影响。

维护与服务要点

  • 常规清洁:定期清洁外壳与散热器,保持风道畅通,防止积尘影响散热效率。
  • 传感器检查:定期校准温度传感器,确保控温误差不随时间累积。
  • 制冷介质与循环液水平检查:按厂家指引检查循环液位与密封件,防止泄漏影响性能。
  • 软件升级:若搭载数字控制模块,关注厂商提供的固件更新与参数优化,以提升稳定性与兼容性。
  • 安全自检:遇到异常温度、报警、通讯断开等情况,按应急流程断电复位并联系技术支持。

场景化FAQ

  • LJ-15W 可以与哪些镀膜工艺兼容?
    适用于多种镀膜工艺的低温阶段,包括物理气相沉积和化学气相沉积过程中的基底温控,特别是在需要稳定温区与高重复性的场景。
  • 温控误差通常在什么范围内?
    在标准工况下,温控误差通常在±0.5°C内,关键时段可通过闭环控制提高到±0.2–0.5°C的波动区间,具体取决于腔体热负荷与冷冻机的响应速度。
  • 与其他 LJ 系列相比,LJ-15W 的优势是什么?
    LJ-15W 以紧凑的体积、低振动和更优的热管理为核心卖点,适合需要紧凑布局与高稳定性的镀膜设备,若需要更低温段或更高制冷功率,可考虑同系列的更高功率型号。
  • 出现异常应如何处理?
    先查看控制显示与报警信息,确认传感器、阀门与制冷回路的状态;如无法自查解决,请联系厂方服务,提供机型、序列号、报警代码以便快速定位。
  • 如何最大化设备可用性?
    建议建立日常巡检表,定期对热交换器、密封件及连接管路进行检查;将控制系统与镀膜机的参数表同步,确保工艺变更时温控仍然符合新工艺需求。
  • 未来升级与扩展有哪些选项?
    可选远程数据监控、离线数据分析插件以及与实验室数据平台的对接接口;若有更高的降温要求,可评估增加冗余冷却单元或升级到更高功率型号。

这份面向实验室、科研和工业化应用的 LJ-15W 特点信息,力求以清晰的数据、具体的参数和场景化描述,帮助现场工程师快速判断设备匹配度并进行工艺优化。若需要,我可以根据你们实际工艺参数进一步定制参数表和场景化用例,确保落地性与可操作性。


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