质量流量控制器（MFC）工作原理及注意事项

        质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC）是一种通过测量和控制气体质量流量来实现精密控制的设备。其核心功能是确保气体在工业过程、科研实验或环境监测中以预设的流量稳定传输。根据原理不同，MFC主要分为热式、差压式和层流压差式等类型。其中，层流压差式MFC因高精度、宽量程和快速响应等优势，在半导体制造、生物制药等领域占据重要地位。

        层流压差式原理

层流压差式MFC基于流体力学中的哈根-泊肃叶定律，通过测量层流状态下的压差信号计算流量，并结合温度、压力补偿实现控制。

        层流生成：流体通过层流元件（如蜂窝状微通道）时，湍流被整流为层流状态，确保流速与压差呈线性关系。

        压差测量：压差传感器实时检测层流元件两端的压力差，结合流体黏度参数，通过泊肃叶方程计算体积流量。

        参数补偿：内置温度、压力传感器对气体密度进行动态修正，将工况流量转换为标准质量流量。

易度智能层流压差式MFC的技术创新

        多参数集成：同时监测温度、压力工况流量、标况流量、累计流量等，通过触摸屏实时显示控制数据，支持各种通讯方式远程控制。

        宽量程覆盖：量程范围从0.1 sccm至20000 slpm，适应微小流量到高流速场景。

        多气体兼容：内置70余种气体数据库，无需转换系数即可适配多种气体。

其他原理简述

        热式原理：通过加热元件感知流体带走的热量差异计算流量，但需预热（5-30分钟）且依赖气体热特性参数，成本较高。

       传统差压式：基于节流元件（如文丘里管）产生压差，但受湍流影响大，精度较低。

易度智能层流压差式MFC的核心优势

作为国内shou家通过层流压差式CPA认证的企业，易度智能的MFC在以下方面表现突出

高精度与稳定性

        测量误差低至±0.5%读数，重复性±0.1%，满足半导体工艺对纳米级流量波动的严苛要求

环境适应性

        支持-50℃至110℃介质温度及0-3 MPa压力范围，适应高温炉、真空镀膜等工况。

易度智能层流压差式MFC已广泛应用于：

半导体制造：精确控制CVD（化学气相沉积）中的反应气体流量，确保薄膜均匀性。

生物制药：调节发酵工艺中的氧气与培养基流量，提升产物纯度。

环保监测：实时监测工业废气排放，助力碳中和目标实现。

层流压差式质量流量控制器凭借其物理原理的普适性与技术升级的灵活性，成为高精度流量控制的核心设备。易度智能通过自主研发，打破了国外技术垄断，为国内半导体制造提供了可靠的国产化解决方案。