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BURKERT8742系列质量流量计

上传人: 上海科学仪器有限公司 |大小:747.07KB|浏览:579次|时间:2018-11-22
BURKERT8742系列质量流量计
文档简介

BURKERT质量流量控制器8742型参数标称流量范围:0.010lN/min至80lN/min测量精度和重复性高防护等级IP65基于CANopen的现场总线通信能力可选:ATEXII类别3G/DBURKERT质量流量控制器8742型用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。BURKERT质量流量控制器8742型/测量仪设计用于büS或CANopen通讯。büS网络技术以CAN物理设施为基础,是Bürkert专门针对具有多个控制段,通过工业以太网或其他现场总线运行的应用而开发出的技术。与ME2X型系统控制单元(SCU,SystemControlUnit)组合使用,可以将信息传输给客户的现场总线,从而实现以CANopen为基础的通信。质量流量控制器(MFC)/质量流量计(MFM)可以随时在büS和CANopen通信之间切换。因此,8742型设备可以直接集成到现有的CANopen网络中。8742型设备可以根据需要配置为MFM或MFC。可以针对两种不同的气体进行校准。热式MEMS传感器直接位于气流中,反应速度极快。Bürkert生产的直动式比例阀具有极高的响应灵敏度。集成PI控制器,令MFC具备zhuo越的控制特性。防护等级和防爆等级高,使得8742型BURKERT质量流量控制器尤其适用于恶劣的应用环境。
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