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Interference Correction在定量分析中的使用方法

上传人: 捷欧路(北京)科贸有限公司 |大小:5.47MB|浏览:1160次|时间:2020-01-19
Interference Correction在定量分析中的使用方法
文档简介

重叠峰的剥离是电子探针分析的难点之一。例如,TiN 作为涂层材料经常被要求给出准确的定量分析数据。
N Kα 和 Ti Ll 线系相差仅 3eV(N Ka=0.392keV;Ti Ll=0.395keV),即使当前Z高级别的电子探针波谱仪也无法将二者分开。忽略 Ti Ll 线系对 N Kα 线的“贡献”会造成定量分析结果的严重偏差。日本电子的探针提供一个标准软件(Interference Correction),可以很好的解决这一问题。
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