光学NanoGauge C12562-04产品样册

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C12562型光学纳米膜厚测量系统是一款小型紧凑、节省空间、安装方便的非接触式薄膜厚测量系统。在半导体工业中，硅通孔技术的普及使得硅厚度测量变得必不可少；在薄膜生产工业中，越来越高的产品需求使得粘合层薄膜的制作朝着越来越薄的方向发展。因此，这些工业领域需要更高精度、测量范围可以覆盖1μm到300μm的厚度测量系统。C12562可以对厚度范围从0.5μm到300μm的薄膜进行极ng确测量，包括薄膜镀层厚度和薄膜衬底厚度以及总厚度。C12562可以进行高达100 Hz的快速测量，因此非常适合高速生产线测量。
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• 光学NanoGauge C12562-04

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