PHEMOS-1000 微光显微镜 C11222-16产品样册

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PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光显微镜，通过检测半导体缺陷引起的微弱的光发射和热发射来准确定位半导体器件的失效位置。由于PHEMOS-1000可以与通用探针台组合使用，您可以使用已经熟悉的样本进行各种分析任务。通过加载一个可选配的激光扫描系统可以获得高分辨率的图像。使用不同类型的探测器可以用来实现各种分析技术，比如光发射分析、热分析、红外-光致阻值改变（IR-OBIRCH）分析等。PHEMOS-1000支持从Probe card到300mm大尺寸晶圆的多种任务和应用范围。
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• PHEMOS-1000 微光显微镜 C11222-16

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