多波段等离子加工监控器 C10346-01产品样册
- 上传人: 滨松光子学商贸(中国)有限公司 |大小:8.53MB|浏览:557次|时间:2020-03-10
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多波段等离子加工监控器C10346-01是专门用于监视半导体各种制造工艺(包括蚀刻,溅射,清洁和CVD)过程中产生的光学等离子体发射的系统。 MPM可以实时处理多通道记录和监测。
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