可调谐激光器--移相干涉法测量光学表面质量
- 上传人: 青岛森泉光电有限公司 |大小:437.36KB|浏览:610次|时间:2021-01-06
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前言:确定关键部件的表面质量,即与预期形状的偏差,无论是平面还是球面等,是高精度制造的关键。当光束照射到有疵病的光学元件表面时, 会产生杂散光。在光学系统中, 影响其性能的主要原因是由系统内部产生的大量散射光造成的, 即使整个光学系统设计得再好, 如果内部光学元件的质量不过关, 那么构成的系统也不能正常工作。
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