FIB-SEM 小知识—气体注入系统（GIS）

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FIB-SEM 双束电镜不仅仅是将聚焦离子束与扫描电镜集成于一体，更重要的是通过集成其他辅助系统使 FIB-SEM 的加工及分析功能更加丰富。下图是 TESCAN LYRA3 FIB-SEM 样品室内部的照片，可以看到不同的部件的安装情况。其中气体注入系统 GIS 是 FIB-SEM 的基本配置之一，GIS 在 FIB-SEM 中起着非常重要的作用。
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