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用光学联用模块实现定点位置加工和 TEM 样品制备

上传人: 泰思肯贸易(上海)有限公司 |大小:1.77MB|浏览:797次|时间:2021-05-21
用光学联用模块实现定点位置加工和 TEM 样品制备
文档简介

双束电镜是在普通扫描电镜的基础上增加了离子枪,除了可以实现普通扫描电镜的功能外,还可以进行特定区域的加工。尤其在高校和科研院所,双束电镜ZD的作用是给 TEM 进行高质量的样品制备。
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