FIB-SEM双束电镜应用之TOF-SIMS轻元素分析

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大型的飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）是非常昂贵的元素及同位素分析设备，现在
TESCAN 已经将小型化的 TOF-SIMS 集成于所有的 FIB-SEM 上了。
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