FIB-SEM双束电镜应用之样品的截面抛光

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截面抛光是 FIB 主要用途之一。所谓截面抛光就是利用离子束将样品剖开观察内部的结构，
从而分析样品内部的微观组织或缺陷。如下图所示，为了分析焊接界面处的产物，需要将焊接处
剖开，从而可以对界面进行成份和晶体结构进行研究。
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