电子探针特殊故障分析

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电子探针自七十年代末开始，在我国生物学、地质学、材料工程、半导体分析及工业工程学等研究领域已获得了广泛的应用。随着使用时间的增长，仪器的故障率也会随之增加，由于该仪器是一台集机械、电磁、光学、真空、电子等多项学科于一体的精密仪器，故障判断及维修有一定的难度。为充分发挥该仪器的作用，将我们遇到的特殊故障分析方法进行交流，便于拥有该仪器的单位参考。
对该类精密仪器采取良好的维护和保养措施，可保证实验测定的可靠性、准确性、及时性，还可提高设备运转率、延长其使用寿命、降低故障出现率。且此项工作需要实验室工作人员长期坚持。
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