电子探针的基本原理及应用

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电子探针方法是利用高能电子束对样品进行成分分析的方法。基本原理是利用电磁透镜聚焦的高能电子束轰击固体表面的某一点，被轰击的元素激发出特征X射线，而特征X射线辐射的频率是发射元素原子序数的函数，因而通过对特征X射线频率和强度的分析便可得到样品表面元素分布和形貌特征。

当前，电子探针是对无机和有机材料进行显微分析的Z有效的工具之一。用它可以得到样品内空间分辨率为1微米的成分信息。电子探针还可获得X射线扫描图像，显示出扫描区域内的元素分布，而且可以对感兴趣的不同区域的相对成分作比较。由于此法能分析原子序数3到92号之间的所有元素，因而已被广泛用于地质、冶金、材料和生物学等各个领域的研究。
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