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quDIS皮米级精度位移测量激光干涉仪,没有非线性误差
德国quDIS激光干涉仪是一种具有高信号稳定性和对比度无关测量算法的共焦位移传感器。quDIS是基于法布里-珀罗或迈克尔逊装置的干涉仪,主要用于科研和工业的纳米皮米级别微位移和振动等测量
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