预算530万元 苏州大学采购无液氦光耦合扫描探针显微镜

　　近日，苏州大学就无液氦光耦合扫描探针显微镜进行公开招标，招标项目的潜在投标人应在https://zbzx.suda.edu.cn/97/12/c9291a562962/page.htm获取招标文件，并于2024年03月29日 09点开标。

　　一、项目基本情况

　　项目编号：S2024016

　　项目名称：无液氦光耦合扫描探针显微镜

　　采购需求：

　　无液氦光耦合扫描探针显微镜采购1台，预算金额：530万元(人民币)

　　(一)主要技术参数及配置要求

　　整体要求：系统具有耦合光学信息的功能，可将激光引入针尖和样品之间的隧道结，实现低温针尖诱导和光诱导单分子反应结合。具备与液氦型杜瓦恒温器相同的低振动水平，无需灌注液体制冷剂的液氦闭循环多功能扫描探针系统。

　　1低温SPM核心部分

　　低温SPM为本套设备的核心模块，能够实现从室温到液氦温度区间进行SPM实验。氦闭环液化系统为连续流恒温器提供冷指，SPM探头通过弹簧悬挂于连续流恒温器下方，其外部包裹着两层低温屏蔽罩以保证降温。

　　扫描探头工作温度：4.5K～300K;

　　降温时间：由室温降至4.5K不超过10h;

　　温度稳定性：恒温实验室环境下±1mK;

　　温度漂移：XY≤100pm/h;Z≤50pm/h;

　　空间分辨率：能够实现HOPG或Au(111)表面的STM原子分辨成像及NaCl(100)或Si(111)表面的AFM原子分辨成像。

　　1.1氦闭环液化系统

　　1.1.1氦闭环液化系统采用GM型4K制冷机作为冷源对氦气降温液化，液氦通过柔性输液杆输入连续流恒温器为SPM降温，降温后的液氦气化返回氦气气路并再次输送至制冷机液化，进而循环降温。

　　1.1.2配套低温温度控制器：四路输入通道及四路输出通道。

　　1.2无液氦闭循环系统抽气泵组

　　该泵组须包含一套抽速80L/s分子泵(配套风冷降温装置)、一台机械干泵(抽速不小于6m3/h)及一个全量程规(1×10-5Pa～1×10+5Pa)。

　　1.3分体式冷水机

　　制冷量不小于15kW分体式冷水机一套，用于给压缩机降温。

　　1.4连续流恒温器

　　连续流恒温器一套，安装于SPM腔体上方;CF63安装法兰，工作温度4K～430 K，底部含有一个加热器及二极管测温计。

　　1.5SPM探头及低温屏蔽罩

　　1.5.1 SPM探头需兼容旗型样品托;

　　1.5.2 粗移动范围≥2mm×2mm×5mm;

　　1.5.3 扫描范围≥4µm×4µm×1µm(室温);

　　≥1.5µm×1.5µm×0.4µm(液氦温区);

　　1.5.4低温屏蔽罩：两层低温屏蔽罩，铝材质，表面镀金;

　　1.5.5内层屏蔽罩底部预留一个低温存样位置，可将样品降温(降温后的样品可通过机械手抓至SPM腔解理);

　　1.5.6 SPM探头样品附近装有低温传感器用于监测温度;

　　1.5.7 SPM探头一侧须安装一个透镜，透镜可通过纳米移动台驱动(XYZ=3mm×3mm×3mm);

　　1.5.8 配套不少于5个STM针尖架，2个AFM针尖，1块HOPG样品。

　　1.6SPM控制器

　　1.6.1 Nanonis SPM控制器一套(主要包括BP5e主控器、HVS4高压电源、HVA4-0222高压放大器、PMD4压电陶瓷驱动器、OC4振荡器及连接线)，须包含Lock-in模块。

　　1.6.2 配套STM前置放大器;

　　1.6.3 配套AFM前置放大器;

　　1.6.4 配套控制主机及双台显示屏;

　　1.6.5 配套CCD。

　　2 SPM腔体部分

　　SPM部分用于承载低温SPM单元，为其提供超高真空环境;

　　SPM极限真空度优于2×10-10 mbar。

　　2.1SPM腔体

　　2.1.1材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理;

　　2.1.2 腔体漏率优于1.33×10-11Pa∙m3/sec;长度误差优于±1mm，角度误差优于±1°。

　　2.2真空泵及真空规

　　2.2.1抽速400L/s离子泵一台(集成TSP);

　　2.2.2 真空规一套，测量范围1.0×10-3mbar～3.0×10-11mbar;

　　2.2.3 配套所涉控制器及线缆。

　　2.3 真空阀门

　　CF100手动插板阀：用于隔断SPM腔与Prep腔的连接。

　　2.4机械手

　　用于样品及针尖传递。

　　2.5样品针尖暂存装置

　　不少于10个暂存位置，用于存储样品或针尖。

　　2.6观察窗

　　必要位置配备观察窗用于观测，观察窗数量不少于四个，其中一个材质为熔融石英观察窗(波长200nm以上透过率在90%以上，用于做原位光激发反应实验)。

　　3 Prep部分

　　Prep部分为系统的样品制备及处理单元。该部分含有离子源，用于处理样品或者样品衬底;另外包含高低温样品台，用于对样品进行退火或降温及传递样品及针尖的作用。

　　Prep极限真空度：优于2×10-10mbar。

　　3.1Prep腔

　　3.1.1 Prep腔体材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理;

　　3.1.2 腔体漏率优于1.33×10-11Pa∙m3/sec;长度误差优于±1mm，角度误差优于±1°。

　　3.2真空泵及真空规

　　3.2.1 抽速400 L/s离子泵一台(集成TSP);

　　3.2.2 抽速300L/s分子泵一台(配套风冷降温装置);

　　3.2.3 真空规一套，测量范围1.33×10-3mbar～2.66×10-11mbar;

　　3.2.4 含所涉控制器及线缆。

　　3.3真空阀门

　　CF100手动插板阀：用于隔断Prep腔与300L/s分子泵的连接

　　3.4样品台

　　3.4.1 五轴高低温样品台;

　　3.4.2 样品运动：X/Y轴±12.5mm(手动);

　　3.4.3 Z轴450mm(电动);

　　3.4.4 轴向旋转±180°;

　　3.4.5 样品面内旋转±180°;

　　3.4.6 热辐射加热≤800℃;

　　3.4.7 液氮降温<130K;

　　3.4.8 配套电机控制器、加热控制器及线缆。

　　3.5 离子源

　　3.5.1 5 keV 离子源(配套控制器)。

　　3.5.2 配套气路。气路分两路，一路连接Prep腔，一路连接SPM腔;每路气路均包含漏阀、真空隔断阀、减压阀，其中漏阀与腔体(或离子源)连接，减压阀与气体气瓶连接;气路通过Load-lock腔使用分子泵抽真空。

　　3.6 真空质谱检漏仪

　　RGA 300真空质谱检漏仪一套，须配电子倍增。

　　3.7观察窗

　　必要位置配备观察窗用于观测，观察窗数量两个。

　　4 Load-lock部分

　　Load-lock部分用于在不破坏主腔真空情况下向系统内传入样品/针尖，单次可传入多个样品或针尖;

　　Load-lock腔极限真空度优于5×10-8mbar。

　　4.1Load-lock腔体

　　4.1.1 Load-lock腔体材质为304不锈钢，腔体经电解抛光及高温除氢处理;

　　4.1.2 腔体漏率优于1.33×10-11Pa∙m3/sec;长度误差优于±1mm，角度误差优于±1°。

　　4.2真空泵及真空规

　　4.2.1 抽速80L/s分子泵一台(配套风冷降温装置);

　　4.2.2 机械干泵一台，抽速不小于6m3/h;

　　4.2.3 全量程规一套，测量范围：1×10+3mbar～5×10-10mbar;

　　4.2.4 含所涉控制器及线缆。

　　4.3真空阀门

　　4.3.1 CF40手动插板阀：用于隔断Prep腔与Load-lock腔的连接;

　　4.3.2 CF63手动插板阀：用于隔断80L/s分子泵与Load-lock腔的连接;

　　4.3.3 KF25 角阀×2;

　　4.3.4 CF16 真空Vent阀。

　　4.4样品针尖暂存装置

　　4.4.1 可存储不少于5个样品/针尖;

　　4.4.2 配套CF40线性驱动器，行程约100mm。

　　4.5磁力杆

　　4.5.1 CF40磁力杆，行程约550mm;

　　4.5.2 配套样品抓持头及端口对准器。

　　4.6观察窗

　　CF40普通观察窗。

　　5 外设

　　5.1系统隔振平台

　　铝型材系统支架;配套的主动隔振一套。

　　5.2烘烤装置

　　5.2.1 耐高温阻燃帐篷;

　　5.2.2 帐篷支架;

　　5.2.3 加热器×3;

　　5.2.4 加热带及加热环;

　　5.2.5 烘烤温度<150℃;

　　5.2.6 配套烘烤控制器一套：六路输出通道与温度测量。

　　5.3机柜

　　用于安装系统所需控制器。

　　5.4其他附件

　　波纹管抽气管道、盲板法兰、支撑、耗材等。

　　(二)质保期不少于1年(验收合格后开始计算)。

　　合同履行期限：合同签订后三个月内。

　　本项目( 不接受 )联合体投标。

　　二、获取招标文件

　　时间：2024年03月08日 至 2024年03月26日，每天上午8:00至12:00，下午13:30至17:00。(北京时间，法定节假日除外)

　　地点：https://zbzx.suda.edu.cn/97/12/c9291a562962/page.htm

　　方式：网上自行下载

　　售价：￥800.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

　　三、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

　　提交投标文件截止时间：2024年03月29日 09点00分(北京时间);

　　开标时间：2024年03月29日 09点00分(北京时间);

　　地点：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0903室。

　　四、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

　　1.采购人信息

　　名 称：苏州大学

　　地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

　　联系方式：丁老师　 0512-67504198，67504359 电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

　　2.项目联系方式

　　项目联系人：仲老师

　　电　话：15195689860

　　电子邮箱：qgzhong@suda.edu.cn