- 招标单位:清华大学 正在评标
- 招标产品:电子探针/X射线微区分析仪
- 招标编号:清设招第20240027号
- 仪器网 2024-03-14 14:37:09 点击 54 次
- 【预算230万元 清华大学采购12寸全自动探针台】,招标编码为【清设招第20240027号】,招标项目内容包括【12寸全自动探针台】,投标截止到【2024-04-09 09:00】,欢迎合格的供应商前来投标
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近日,清华大学就12寸全自动探针台进行公开招标,招标项目的潜在投标人应在http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件,并于2024年04月09日 09点开标。
一、项目基本情况
项目编号:清设招第20240027号
项目名称:12寸全自动探针台
采购需求:
12寸全自动探针台采购1套,用于半导体晶圆测试系统,预算金额:230万元,允许进口。
简要技术指标 :
★测试温度范围: -55℃~150℃
★测试温度精度:±1℃
★可测晶圆尺寸容量:8吋、12吋 (200mm and 300mm)
可接受的管芯大小:350um~100,000um
▲系统总体精度:±1.5 um
★X轴、Y轴的精度:±1.5um
X轴、Y轴的最小移动量:1um
X轴、Y轴分辨率:<0.005 um
▲X轴、Y轴 probing area: ±175mm
★Z轴精度:±1.5 um
Z轴分辨率: 0.011 um
Z轴速率: 50 mm/sec
▲Z轴承载力: >= 400kg
q轴调节范围 : ±5°
q轴分辨率: 0.0002°
CHUCK的平坦度: <15um
清针台的平坦度: <20um
可以对接测试机T5830SSTH
▲支持TSK, TEL的map格式
▲支持TSK, TEL的GPIB通信协议
合同履行期限:90天
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、获取招标文件
时间:2024年03月14日 至 2024年03月21日,每天上午8:00至12:00,下午13:00至16:30。(北京时间,法定节假日除外)
地点:http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式:本项目招标文件网上发售,潜在投标人在线提供申请材料,经审核通过后获取电子版招标文件。
售价:¥0.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
三、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间:2024年04月09日 09点00分(北京时间);
开标时间:2024年04月09日 09点00分(北京时间);
地点:北京市海淀区清华大学华业大厦实验室管理处1区5层第一评标室(清华大学东南门东侧,无须办理入校手续)。
四、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:清华大学
地址:北京市海淀区清华园
联系方式:王琦62771946
2.项目联系方式
项目联系人:王琦
电 话:62771946
欲了解更多资讯,查看官方招标公告>>>
预算230万元 清华大学采购12寸全自动探针台
清华大学(Tsinghua University),简称清华,由中华人民共和国教育部直属,中央直管副部级建制,位列“211工程”、“985工程”,入选”珠峰计划“、”2011计划“、”111计划“、”卓越工程师教育培养计划“、”卓越法律人才教育培养计划“、”卓越医生教育培养计划“,为九校联盟、东亚研究型大学协会、环太平洋大学联盟、清华大学—剑桥大学—麻省理工学院低碳能源大学联盟成员。 清华大学诞生于1911年,依托美国退还的部分“庚子赔款”建立,因北京西北郊的清华园而得名,初称“清华学堂”,是清政府设立的留美预备学校,翌年更名为“清华学校”;为尝试人才的本地培养,1925年设立大学部,1928年更名为“国立清华大学”;1937年抗日战争爆发后,学校南迁长沙,与北京大学、南开大学联合组建“国立长沙临时大学”;1938年迁至昆明,改名为“国立西南联合大学”;1946年迁回清华园,1952年成为一所多科性工业大学;改革开放以来,学校先后恢复或新建了理科、经济、管理和文科类学科,并成立了研究生院和继续教育学院。 清华大学是中国乃至亚洲最著名的高等学府之一,在长达百年的办学历史中,2位共和国主席、7位中央政治局常委、14名两弹一星获得者、600余名院士从这里走出,王国维、梁启超、陈寅恪、赵元任等一大批学术巨匠曾在此执教,恰如清华园工字殿内对联所书——“槛外山光,历春夏秋冬、万千变幻,都非凡境;窗中云影,任东西南北、去来澹荡,洵是仙居”