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芯片开封的含义及注意事项
发布:似空科学仪器(上海)有限公司浏览次数:1714Decap即开封,也称开盖,开帽,指给完整封装的IC做部分腐蚀,使得IC可以露出出来,同时坚持芯片功用的完整无损, 坚持 die, bond pads, bond wires乃至lead-不受损伤, 为下一步芯片失效剖析实验做准备,方便调查或做其他测试(如FIB,EMMI),Decap后功用正常。
去封范围:普通封装 COB、BGA、QFP、 QFN、SOT、TO、 DIP、BGA、COB 陶瓷、金属等其它特别封装。
一般的有化学(Chemical)开封、机械(Mechanical)开封、激光(Laser)开封、Plasma Decap Decap实验室可以处理简直所有的IC封装方式(COB.QFP.DIP SOT 等)、打线类型(Au Cu Ag)。
高分子的树脂体在热的浓硝酸(98%)或浓硫酸效果下,被腐去变成易溶于丙酮的低分子化合物,在超声效果下,低分子化合物被清洗掉,从而露出芯片表层。
开封办法一:取一块不锈钢板,上铺一层薄薄的黄沙(也可不加沙产品直接在钢板上加热),放在电炉上加热,砂温要达100-150度,将产品放在砂子上,芯片正面方向向上,用吸管吸取少数的发烟硝酸(浓度>98%)。滴在产品外表,这时树脂外表起化学反应,且冒出气泡,待反应稍止再滴,这样连滴5-10滴后,用镊子夹住,放入盛有丙酮的烧杯中,在超声机中清洗2-5分钟后,取出再滴,如此重复,直到露出芯片为止,Z后必须以干净的丙酮重复清洗保证芯片外表无残留物。
开封办法二:
将所有产品一次性放入98%的浓硫酸中煮沸。这种办法关于量多且只要看芯片是否决裂的情况较适宜。缺点是操作较危险。要掌握方法。
开封留意点:
所有一切操作均应在通风柜中进行,且要戴好防酸手套。
产品开帽越到Z后越要少滴酸,勤清洗,以避免过腐蚀。
清洗过程中留意镊子勿碰到金丝和芯片外表,以免擦伤芯片和金丝。
依据产品或剖析要求有的开帽后要露出芯片下面的导电胶.,或许第二点.
另外,有的情况下要将已开帽产品按排重测。此刻应首先放在80倍显微镜下调查芯片上金丝是否断,塌丝,如无则用刀片刮去管脚上黑膜后送测。
留意控制开帽温度不要太高。
分析中常用酸:
浓硫酸。这儿指98%的浓硫酸,它有激烈的脱水性,吸水性和氧化性。开帽时用来一次性煮很多的产品,这儿利用了它的脱水性和强氧化性。
浓盐酸。指37%(V/V)的盐酸,有激烈的挥发性,氧化性。剖析中用来去除芯片上的铝层。
发烟硝酸,指浓度为98%(V/V)的硝酸。用来开帽。有激烈的挥发性,氧化性,因溶有NO2而呈红褐色。
王水,指一体积浓硝酸和三体积浓盐酸的混合物。剖析中用来腐金球,因它腐蚀性很强可腐蚀金。2020-07-01相关仪器 -
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