高真空退火炉的设备优势与应用

目前国内高温退火炉加热大都为管式炉或马弗炉，原理为加热丝或硅碳棒对炉体加热，加热与降温速度慢，效率低下，也无法实现温度的高精度测量，加热区域也存在不均匀的现象，华测仪器通过多年研究开发了一种可实现高精度，高反射率的抛物面与高质量的加热源相配置，在高速加热高速冷却时，具有良好的温度分布。可实现宽域均热区，高速加热、高速冷却，用石英管保护加热式样，无气氛污染。可在高真空，高纯度气体中加热。设备可组成均热高速加热炉，温度斜率炉，阶段加热炉，是一种目前较为理想的真高空退火炉。

设备优势：

1.高速加热与冷却方式

高能量的红外灯和镀金反射方式允许高速加热到高温。同时炉体可配置水冷系统，增设气体冷却装置，可实现快速冷却。

2.温度高精度控制

过红外镀金聚焦炉和温度控制器的组合使用，可以精que控制样品的温度（远比普通加温方式）。此外，冷却速度和保持在任何温度下可提供高精度。

3.不同环境下的加热与冷却

加热/冷却可用真空、气氛环境、低温（高纯度惰性气体静态或流动），操作简单，使用石英玻璃制成。红外线可传送到加热/冷却室。

高真空退火炉的应用：

1.电子材料

半导体用硅化合化的PRA（加热后急速冷却）

热源薄膜形成·激活离子注入后硅化物的形成

2.陶瓷与无机材料

陶瓷基板退火炉

玻璃基板退火炉。

陶瓷张力、挠曲试验退火炉。

3.钢铁和金属材料

薄钢板加热过程的数值模拟。

炉焊接模拟

高真空热处理（1000℃以下）

大气气体熔化过程

压力下耐火钢和合金的热循环试验炉

4.复合材料

耐热性评价炉

无机复合材料热循环试验炉

5.其它

高温拉伸压缩试验炉。

分段分区控制炉

温度梯度炉

炉气分析

超导陶瓷退火炉