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北京华测试验仪器有限公司
主营产品:介电常数测试仪,表面体积电阻率测试仪,电压击穿试验仪,耐电弧试验仪
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NMC ICP反应离子刻蚀机
  • 品牌:北京华测
  • 型号: NMC ICP
  • 产地:美国
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: ¥ 554
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详细介绍


NMC ICP反应离子刻蚀机(用于介质薄膜)





一、反应离子刻蚀机产品简介:

反应离子刻蚀机主要用于介质薄膜干法刻蚀,包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等。


二、反应离子刻蚀机技术参数:

1.气体种类:O2、CF4、CHF3、SF6、BCl3

2.基片尺寸:zui大支持8英寸,并向下兼容6、5、4、3、2英寸等以及破片

3.射频电源     ICP电源:13.56MHz,1400W; 偏压电源:13.56MHz,800W

4.工艺温度:10℃到80℃可控

5.传送模式:自动Loadlock传送系统


公司主要研发、制造和销售的检测仪器有:电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\反射炉\气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶\绝缘子行业测试设备、PCB\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等,可接定制仪器订单。



产品优势
反应离子刻蚀机主要用于介质薄膜干法刻蚀,包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等
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