详细介绍
NMC ICP反应离子刻蚀机(用于介质薄膜)
一、反应离子刻蚀机产品简介:
反应离子刻蚀机主要用于介质薄膜干法刻蚀,包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等。
二、反应离子刻蚀机技术参数:
1.气体种类:O2、CF4、CHF3、SF6、BCl3等
2.基片尺寸:zui大支持8英寸,并向下兼容6、5、4、3、2英寸等以及破片
3.射频电源 ICP电源:13.56MHz,1400W; 偏压电源:13.56MHz,800W
4.工艺温度:10℃到80℃可控
5.传送模式:自动Loadlock传送系统
公司主要研发、制造和销售的检测仪器有:电压击穿试验仪、高压漏电起痕试验仪、耐电弧试验仪、铁电材料测试仪器、介电常数及介质损耗测试仪、表面及体积电阻率测试仪、压电材料测试仪器、热电材料测试仪器、绝缘材料电性能检测设备、高温管式炉\反射炉\气氛炉、高温电性能测试设备、EST静电检测仪器、硅橡胶\绝缘子行业测试设备、PCB\三防漆电子材料测试、电气薄膜电学检测仪器、高低压电气材料测试设备、电线电缆行业电学测试设备、高分子材料电学测试仪器、热分析仪器、电气安规检测仪器、半导体芯片类测试仪器等,可接定制仪器订单。
产品优势
反应离子刻蚀机主要用于介质薄膜干法刻蚀,包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等
- 产品分类
- 品牌分类
- 前沿材料检测试设备
- 电压击穿试验仪
- 介电常数及介质损耗测试仪
- 表面及体积电阻率测试仪
- 耐电弧试验仪
- 铁电材料测试仪器
- 压电材料测试仪器
- 热电材料测试仪器
- 绝缘材料电性能测试设备
- 高温电性能测试设备
- 高温管式炉\反射炉\气氛炉
- 静电检测仪器
- 硅橡胶\绝缘子行业测试设备
- PCB\ 三防漆电子材料测试设备
- 电气薄膜电学检测仪器
- 高低压电气材料测试设备
- 电线电缆行业电学测试设备
- 高分子材料电学测试仪器
- 热分析仪器
- 电气安规检测仪器
- 非标定制仪器
- 海绵泡沫行业检测仪器系列
- 漆包线测试专用设备
- 硅橡胶测试专用设备
- 半导体芯片类测试仪器
- 新能源汽车行业
- 电子行业
- 传感器测试仪
- 功能材料电学综合测试系统
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仪企号北京华测试验仪器有限公司
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